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IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Title in German as published on TED.

Call for competition published on TED on 29 May 2026 by Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts (Germany), CPV 42990000 Miscellaneous special-purpose machinery.

Notice367674-2026 (cn-standard)
StatusTender
Published29 May 2026
BuyerInstitut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts, Stuttgart
CountryGermany
Main CPV42990000-2 Miscellaneous special-purpose machinery
Contract typesupplies
Procedureneg w call

Daily EU tender alerts

Basic $19 a month, up to 5 filters. Pro $49 a month, up to 30 filters and tenders closing within 5 days. Charged in UAH at the National Bank of Ukraine rate on the payment day.

Open on TED Tender documents

Description

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

Lots (1)

LotTitleEstimated valueDeadline
LOT-0001IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

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