Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Title in French as published on TED.
Contract award notice published on TED on 7 Sep 2026 by CEA Grenoble (France), CPV 31712100 Microelectronic machinery and apparatus. Awarded to KLA CORPORATION for EUR 1.
| Notice | 614409-2026 (can-standard) |
|---|---|
| Status | Contract award |
| Published | 7 Sep 2026 |
| Buyer | CEA Grenoble, Grenoble |
| Country | France |
| Main CPV | 31712100-1 Microelectronic machinery and apparatus |
| Contract type | supplies |
| Procedure | neg w call |
| Awarded value | EUR 1 |
| Tenders received | 2 |
| Award decision | 18 Aug 2026 |
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Description
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Lots (1)
| Lot | Title | Estimated value | Deadline |
|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Fourniture d'un équipement de gravure profonde |
Winners
- KLA CORPORATION Montbonnot Saint Martin, France, size: medium
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