ALD-Anlage
Title in German as published on TED.
Contract award notice published on TED on 22 Sep 2026 by Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Germany), CPV 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses). Awarded to SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH for EUR 461,344.
| Notice | 650714-2026 (can-standard) |
|---|---|
| Status | Contract award |
| Published | 22 Sep 2026 |
| Buyer | Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena |
| Country | Germany |
| Main CPV | 38000000-5 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) |
| Contract type | supplies |
| Procedure | open |
| Estimated value | EUR 461,344 excl. VAT |
| Awarded value | EUR 461,344 |
| Tenders received | 5 |
| Award decision | 7 Sep 2026 |
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Description
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Lots (1)
| Lot | Title | Estimated value | Deadline |
|---|---|---|---|
| LOT-0001 | ALD-Anlage |
Winners
- SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH Krailling, Germany, size: small
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