Chemisch-mechanische Poliermaschine
Title in German as published on TED.
Call for competition published on TED on 16 Oct 2026 by Friedrich-Schiller-Universität Jena (Germany), CPV 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses). Tenders are accepted until 20 Oct 2026.
| Notice | 718171-2026 (cn-standard) |
|---|---|
| Status | Open tender |
| Published | 16 Oct 2026 |
| Buyer | Friedrich-Schiller-Universität Jena, Jena |
| Country | Germany |
| Main CPV | 38000000-5 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) |
| Contract type | supplies |
| Procedure | open |
| Deadline for tenders | 20 Oct 2026 10:00 |
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Description
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.
Lots (1)
| Lot | Title | Estimated value | Deadline |
|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Chemisch-mechanische Poliermaschine | 20 Oct 2026 |
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